半导体加工

Semiconductor Processing
成功的半导体加工取决于硅晶圆的质量。精确的温度测量是晶圆质量和产量的关键。

若在晶圆生产过程中未做好温度控制,所生产的产品就不能符合要求,厂家也会因此蒙受巨额损失。接触式测量方法可能会干扰过程,而非接触式测量则必须针对晶圆的发射率作出补偿。

AMETEK Land 在温度测量领域是业界公认的领导者。我们的非接触式测量方案可提供准确、可靠的结果,并且不会对半导体制造所需的高度无菌条件造成干扰。同时,我们先进的信号处理方案可以针对射率和其他可能影响精度的因素做出适当补偿。针对半导体加工应用,AMETEK Land推荐 Cyclops 100L 便携式温度计。